物联网及智能制造
我们的应用专家对半导体及微电子行业的客户制程具有非常深刻的了解,我们的长期经验让我们能够持续不断地改进和发展一流的技术和方法。无论您是在规划全新安装,还是升级现有系统,我们都能提供适合您的解决方案。

Adsorption Chuck

  • Electrostatic Chuck:静电吸盘在半导体薄膜(PVD/CVD)、蚀刻制程为晶圆提供稳定的吸附支撑;并在真空晶圆传输系统(EFEM)及其他自动化加工环节提供安全有效的支援。
  • Ceramic Micropore Chuck:陶瓷微孔吸盘满足6~8吋晶圆吸附要求,空隙直径可达到2μm;吸附12吋晶圆,空隙直径可达到5μm。
Electrostatic ChuckCeramic Micropore Chuck

Cleanroom System

  • Dustfree Cable Assembly:无尘电缆组件为制程设备提供稳定、清洁、安全的信号及动力传输方案,满足Class 100及更高等级无尘室要求,该无尘电缆组件可满足ESD(Mix:10^6)要求。
  • Dustless Isolation Film:无尘隔离膜可为线束在拖链内部提供隔离保护,防止线束在拖链运动过程中产生释气、积尘现象,提高线束使用寿命,可满足Class 100及更高等级无尘室要求,也可满足ESD (Mix:10^6)要求。
Dustfree Cable AssemblyDustless Isolation Film

Vacuum Pump

  • Vacuum Pump:可以最大限度地提高基板吞吐量和最终零湿度制程条件, 同时尽可能降低功耗、占地面积和重量。在与我们的CMS系统配合使用时,能够管理高气体流量并有效减排有毒和易燃气体, 同时延长维修间隔,另外还可以将多个腔连接到一个工具以实现完整的集成真空和减排解决方案。通过引进全新的干泵创新设计,降低了每个腔需要的制程泵数量,同时仍能在低功率输入条件下实现高的生产吞吐量,可在空闲期间降低资源消耗。如:Thin Film、Etch、Mount、Mold、Reflow、清洗、吸附、脱泡等。 
SDE-TX SeriesSDE-X SeriesSDE SeriesSDL SeriesMU-X SerisMU-P/H SeriesNeoDry Series

Precision Equipment

  • Electrostatic Separator:光离子化静电消除器,在工作时产生软X射线,同时“等量”地生成正、负离子,快速、高效地进行消除静电。
半导体及微电子

Equipment Overhaul

  • 主设备机台检修、维护、清洗。
  • 附属设备机台检修、维护、清洗。