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原理概述

静电吸附系统依据库伦定律(两个静止的带电粒子间的相互作用力)和洛伦兹定律(运动的电和在磁场中受的力),利用电磁力从而实现对物体有效地吸附。
(1) 利用位于主体上电源产生静电作用力。
(2) 能够快速开启和关闭。
(3) 利用导电和非导电基板上间的静电作用力。
(4) 与两种不同导体基质所采用的吸附方式:
      4.1 与导电基板→通过洛伦兹力夹取。
      4.2 与非导电基板→通过极化作用力夹取。

工作原理

静电吸附系统由静电吸附控制器、静电吸附单元(静电吸盘)及其他连接部件组成。静电控制器通过将直流电压经过增压及倍压处理,输出极性相反的高压,施加在静电吸附单元形成静电磁场。
 
施加电压前,被吸物体表面不显电性(平衡状态),如静电吸附单元通电,被吸物体与静电吸附单元接触面形成强烈的电位差,被吸物体表面产生极化现象,也可以称为被吸物体与静电吸附单元产生电位差,相互之间产生静电吸附力,从而实现对被吸物体的吸附。

解除外部施加电压,被吸物体与静电吸附单元接触面电场会瞬间消失,其之间所形成的电位差及表面产生极化现象也消失,被吸物体与静电吸附单元静电吸附力也消失。

运用概述

SeaTools®  静电吸附系统重新定义了二十一世纪夹持设备新形式。它可以像电磁铁一样利用通电及断电精确控制,可任意激活和停止对被吸物体的吸附力,能吸附几乎任何物体,如吸附金属、半导体、绝缘体,并自动处理几乎任何材料完成搬运、固定、校正等能力。静电吸附技术可以吸附像鸡蛋一样脆弱、像丝绸一样轻薄柔软、像纱网一样透气多孔、像光学玻璃一样洁净的物体;吸附均匀不产生褶皱、不残留痕迹、不损伤表面。,也能通过控制系统设定吸附时间及延迟吸附时间,它是开放的,您可以尽可能拓展它的用途。
 
静电吸附单元分别接上极性相反的外部电源,被吸物体和静电吸附单元将形成电场(图2所示)。静电吸附单元电极组将瞬间极化绝缘层内部及被吸物体,聚集极性相反的电荷,形成电位差,从而将牢牢吸附住被吸物体(图3所示)。通常情况下,即使切断电源,绝缘层内部极化现象不能瞬间消失,残留电位差将影响被吸物体正常脱离,也影响静电吸附吸附再次连续工作及吸附力保持。



它是开放的,您可以尽可能拓展它的用途。