半导体及微电子
半导体及微电子
※ 静电吸附系统为半导体及微电子制造领域提供超薄材料搬运、表面校正、视觉检测等吸附解决方案。
 
     

超薄材料搬运

Handit™系列静电吸附系统解决了超薄材料由于过于柔性和褶皱现象而增加抓取搬运的难度,实现超薄材料在真空环境下可安全有效地进行自动化搬运。

超薄材料自动化加工支撑

Supportit™系列静电吸附系统解决了超薄材料由于过于柔性和褶皱现象而增加抓取搬运和自动化加工的难度,实现超薄材料弯曲校正和辅助固定;在无电源情况下半保持永久吸附,超薄材料在真空环境下可安全有效地进行研磨、抛光、蒸镀、曝光、清洗等制程。

超薄材料视觉检测支撑

Visionit™系列静电吸附系统解决了超薄材料由于过于柔性、褶皱现象、易碎等特性而无法有效的进行自动化视觉检测的难题。
 
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