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Electrostatic Chuck

Product Description

静电吸盘是一种适用于大气或真空环境的超洁净薄片承载体、抓取搬运设备的总称。静电吸盘施加电压前,被吸物体表面不显电性(平衡状态),如静电吸盘通电,被吸物体与静电吸附单元接触面形成强烈的电位差,被吸物体表面产生极化现象,也可以称为被吸物体与静电吸盘产生电位差,相互之间产生静电吸附力,从而实现对被吸物体的吸附;解除外部施加电压,被吸物体与静电吸附单元接触面电场会瞬间消失,其之间所形成的电位差及表面产生极化现象也消失,被吸物体与静电吸附单元静电吸附力也消失。

Features

  • 可在真空或大气环境下使用
  • 能吸附导体、半导体、绝缘体及多孔材料
  • 吸附力均匀,吸附时不会出现局部受力
  • 清洁夹持,不产生吸痕及污渍
  • 对象物体背面不产生电位

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